Polymers for MicroelectronicsScience and Technology

田畑米穂/三田達/野々垣三郎/堀江一之/田川精一・編
シリーズ:
英文書シリーズ

Polymers for MicroelectronicsScience and Technology

発行
1990
サイズ
B5変型
ページ数
874
ISBN
978-4-06-204866-8
本体
19,417円(税別)
在庫
在庫無し

内容紹介

<英文書>
電子材料の物理学、化学、応用技術を集大成。マイクロエレクトロニクス用ポリマーを基礎料学、プロセス、応用技術の各方面から第一線の研究者が解説。各種レジスト材料、ポリイミド、光メモリーなどを収載。海外提携先:Springer

目次

I. Photo- and Radiation Physics and Chemistry of Polymers, Resist Materials and Processes for Microelectronics
II. New Photosensitive Polymers and PHB for Optical Memory and Related Applications
III. Polyimides and Related Functional Polymers for Electronics