薄膜工学ハンドブック

真下正夫/吉田政次・編

薄膜工学ハンドブック

発行
1998/10/20
サイズ
A5判
ページ数
542
ISBN
978-4-06-153953-2
本体
18,000円(税別)
在庫
在庫無し

内容紹介

薄膜に関わる物理と工学を網羅した実用書。
原子層成長や選択成長など薄膜材料開発の最新知見も取り入れ、物性、成長の基礎理論から技術の実際、さらにシミュレーションまで、豊富なデータで幅広く解説した。