固体表面分析 (2)

6　フーリエ変換赤外分光法
　　1．フーリエ変換赤外分光法の基礎
　　2．IR透過法
　　3．高感度反射法（IRAS）
　　4．全反射赤外吸収（ATR）法
　　5．顕微赤外分光法
　　6．参考文献

7　走査トンネル顕微鏡
　　1．STMの基礎
　　2．STM装置
　　3．STMの観察例

8　原子間力顕微鏡
　　1．原子間力顕微鏡の基礎
　　2．AFMに基づく新しい測定方法
　　3．AFMによる接触測定
　　4．AFMによる非接触測定（静電気力の測定）

9　ラザフォード後方散乱法
　　1．はじめに
　　2．RBS法の原理
　　3．RBS装置
　　4．RBS／チャネリング法による分析
10　ケーススタディ
　　1．Si酸化膜の成長のキャラクタリゼーション
　　2．エピタキシャル成長過程
　　3．アルミニウム選択CVD反応のin situ観察
　　4．触媒表面のキャラクタリゼーション
　　5．ダイヤモンドの表面吸着構造―拡散反射赤外分光法による気相成長過程解明をめざして―
　　6．単結晶表面上の反応解析
　　7．深さ方向の分析―InP、GaAs系多層膜の深さ方向分析―
　　8．面分析―鉄鋼材料の破面分析―
　　9．有機物分析―チャージアップ補正の例―
　10．高分子材料の表面・断面分析
　11．半導体の不純物分析―AESとSIMSの比較―