固体表面分析 (2)

大西孝治/堀池靖浩/吉原一紘・編

固体表面分析 (2)

発行
1995/04/20
サイズ
A5判
ページ数
324
ISBN
978-4-06-153366-0
本体
6,311円(税別)
在庫
在庫無し

内容紹介

進歩の著しい手法を入門者向けに親切に解説。巻は、これから表面分析に取り組む人のために、総合的な表面研究、分析例を豊富に取りあげた。FT-IR、STM、AFM、RBSおよびケーススタディ。

目次

6 フーリエ変換赤外分光法
  1.フーリエ変換赤外分光法の基礎
  2.IR透過法
  3.高感度反射法(IRAS)
  4.全反射赤外吸収(ATR)法
  5.顕微赤外分光法
  6.参考文献

7 走査トンネル顕微鏡
  1.STMの基礎
  2.STM装置
  3.STMの観察例

8 原子間力顕微鏡
  1.原子間力顕微鏡の基礎
  2.AFMに基づく新しい測定方法
  3.AFMによる接触測定
  4.AFMによる非接触測定(静電気力の測定)

9 ラザフォード後方散乱法
  1.はじめに
  2.RBS法の原理
  3.RBS装置
  4.RBS/チャネリング法による分析
10 ケーススタディ
  1.Si酸化膜の成長のキャラクタリゼーション
  2.エピタキシャル成長過程
  3.アルミニウム選択CVD反応のin situ観察
  4.触媒表面のキャラクタリゼーション
  5.ダイヤモンドの表面吸着構造―拡散反射赤外分光法による気相成長過程解明をめざして―
  6.単結晶表面上の反応解析
  7.深さ方向の分析―InP、GaAs系多層膜の深さ方向分析―
  8.面分析―鉄鋼材料の破面分析―
  9.有機物分析―チャージアップ補正の例―
 10.高分子材料の表面・断面分析
 11.半導体の不純物分析―AESとSIMSの比較―