固体表面分析 (1)

大西孝治/堀池靖浩/吉原一紘・編

固体表面分析 (1)

発行
1995/04/20
サイズ
A5判
ページ数
300
ISBN
978-4-06-153364-6
本体
6,311円(税別)
在庫
在庫無し

内容紹介

有効性の高い手法を中心にまとめた実用書。より高感度化、高機能化した装置の取扱いの実際を詳しく記述した。化学、金属、半導体分野の企業研究者・技術者向け。巻は電子分光、EXAFS、質量分析など。

目次

1 総論
  1.固体と表面とバルク
  2.表面の性質
  3.固体の表面上で起こる現象
  4.固体表面の分析法の発展
  5.固体表面を調べる分光法
  6.固体の表面のキャラクタリゼーション
  7.清浄表面と超高真空

2 電子分光法
  1.電子分光法の基礎
  2.X線光電子分光法
  3.オージェ電子分光法

3 X線吸収分光法
  1.X線吸収分光法の基礎
  2.実験装置
  3.測定法
  4.データ解析
  5.測定・解析例
  6.参考文献

4 二次イオン質量分析法
  1.緒言
  2.SIMSの原理
  3.装置
  4.SIMSの特徴
  5.SIMSにおける二次イオン強度
  6.D-SIMSの実際
  7.D-SIMSにおける諸問題
  8.D-SIMSの応用例
  9.S-SIMS分析の実際
  10.S-SIMSによる表面評価の応用例
  11.TOF-SIMSによる表面高感度測定
  12.SNMSへの展開
  13.将来展望

5 グロー放電発光分光分析法
  1.グロー放電発光分光分析法(GDOES)の原理
  2.発光光源と測定法
  3.スペクトル
  4.GDOESによる定量分析
  5.GDOESによる深さ方向分析
  6.GDOESによる深さ方向プロファイルの定量化
  7.グロー放電質量分析法(GDMS)との関連